液体中の気泡の形成、捕獲および操作方法
专利摘要:
液体中の微小気泡の形成、捕獲および操作方法が開示される。この方法は、パルスレーザー照射を発生するパルスレーザー源および焦点調節レンズを提供し;焦点域における液体中のオプティカルブレイクダウンの閾値を超えるエネルギーで、液体中の焦点域にパルスレーザー照射の焦点を合わせることを含む。球面収差についての焦点調節レンズ補償深度に近い深度で焦点にレーザービームの焦点を合わせるために焦点調節レンズを用いることも示唆される。 公开号:JP2011516914A 申请号:JP2011502493 申请日:2009-04-05 公开日:2011-05-26 发明作者:オシェムコヴ,セルゲイ;ドヴォルキン,レヴ;ドミトリエヴ,ヴラディミル 申请人:カール ゼイス エスエムエス リミテッド; IPC主号:G02B21-32
专利说明:
[0001] 本発明は光トラッピングに関する。特に、本発明は、液体中の気泡の形成、捕獲および操作方法に関する。] 背景技術 [0002] 微小粒子の捕獲および操作は、ナノテクノロジーおよびマイクロテクノロジー、並びに医学的および生物学的応用において非常に重要である。微小粒子の捕獲および操作には、通常、液体中の微小粒子上の光圧を与える光トラップ(光またはレーザーピンセット)の使用が含まれる。あるケースにおいては光ピンセットの小さい力にもかかわらず、それはセルおよび他の微小粒子の非接触捕獲および操作のためには十分である。] [0003] 光ピンセットを用いる、有害でない、微粒子の捕獲および移動の可能性の証明は、A.Ashkinの論文「放射圧による粒子の加速および予測」,Phys.Rev.Lett.24(4),156−159(1970)により与えられた。このときから、光ピンセットのデザインは絶えず改良されてきた。多くの光ピンセットの修飾が開発され、様々な応用が示唆および研究されてきた。] [0004] 例えば、Ashkinらによる米国特許第4,893,886号、「生物学的粒子のための非ブレイクダウン的光捕獲およびそれを実施する方法」(1990年1月16日)は、赤外レーザーを用いる、生物学的粒子を捕獲する、単一ビーム勾配力のための方法および装置を開示している。捕獲のいくつかのモデルが示されている。] [0005] Finerらによる、他の米国特許第5,512,745号、「光トラップシステムおよび方法」(1996年4月30日)は、レーザーピンセットの改良されたデザインを開示している。開示されたシステムには、微小粒子の検出のための象限フォトダイオード検出器による散乱光の検出をベースとする、的はずれの位置を補正するためのフィードバックループ、並びに捕獲ビームを位置を変化させるための音調光学変調器または反照検流計が含まれる。] [0006] Sutzeによる、他の米国特許第5,689,109号、「小粒子、特に生物学的粒子の操作、処理および観察のための装置および方法」(1997年11月8日)は、異なる波長を有する2種のレーザーからなるレーザーピンセットの修飾を開示している。第一のレーザーの焦点調節放射は光トラップを形成し、第二のレーザーの焦点調節放射は、粒子の操作のために用いられる。] [0007] Shikanoによる、米国特許第5,953,166号、「レーザー捕獲装置」(1999年9月14日)は、培地中に懸濁した微生物のような微小粒子の群から任意の微小粒子を捕獲するためのレーザー捕獲機構を開示している。] [0008] 多くの特許が光ピンセットの出願に関するものである。] [0009] Chenらによる、米国特許第6,943,062B2号、「光学ピンセットによる、混入粒子の除去」(2005年9月13日)は、粒子の光トラッピングおよびそれらの移動をベースとする、表面を損傷させずに、表面から混入粒子を除去する方法が開示されている。] [0010] Ghislainらによる、米国特許第5,445,011号、「光トラップを用いた、走査型力顕微鏡」(1995年8月29日)は、プローブが、光トラップにより位置づけされ、正しい方向に置かれた軸上に少なくとも1個のチップを有する、光学的に透明なシリンダーにより示される走査型力顕微鏡を開示している。] [0011] Tanらによる、米国特許第7,315,374号、「光学的に捕獲されたカーボンナノチューブのリアルタイム観察」(2008年1月1日)、およびChangによる、米国特許第7,316,982号、「光トラップを用いた、カーボンナノチューブの調節」(2008年1月8日)は、液体中のカーボンナノチューブの操作のための光ピンセットの方法および修飾を開示している。] [0012] 公知の光ピンセットのいくつかの限界には: 相対的に低い捕獲力−通常、10mWのレーザー平均出力に対し、あるケースにおいては十分でない、ピコニュートン(pN)のレベル; 捕獲された微小粒子を通過する光ピンセットを通過するレーザー照射により起こる損傷の可能性; 光ピンセットは、周囲の液体より高い屈折率を有する微小粒子を捕獲し、そのように低い屈折率であり、不透明な微小粒子は捕獲されないことが含まれる。] [0013] 従って、放射圧をベースとする光ピンセットの欠点を排除するために、特に、低屈折率かつ不透明な微小粒子の捕獲を可能にする、新しいタイプのトラップを開発することが望ましい。例えば、液体中の気泡の捕獲および操作は、マイクロテクノロジー、生物学および医学における多くの用途について非常に重要である。] [0014] 連続波(CW)アルゴンレーザービームを用いた、液状エタノール中の微小気泡の安定に捕獲することの観察が報告された(B.L.Lu,Y.Q.Li,H.Ni,Y.Z.Wang「微小気泡のためのレーザー誘導ハイブリッドトラップ」,Appl.Phys.B71,801−805,2000)。液体表面に浮いた微小気泡は、培地を垂直に通過するガウスビームにより捕獲された。捕獲効果の説明には、液状媒体の伝達により誘発される光圧および流体力の存在が含まれる。] [0015] 先行技術において公知の光トラッピングのための他のアプローチは、液体中のオプティカルブレイクダウンをベースとする。] [0016] 液体中のレーザーパルスの焦点調節が、非線形吸収およびブレイクダウンプラズマ形成のために、焦点の領域から気泡の形成および放出を起こすことが知られている。これらの気泡は、正常には、多重振動を有する、不安定なキャビテーション気泡である。キャビテーション気泡の崩壊時間tc(気泡の最大、それに続く最小の間の時間間隔)は、Raleigh式:] [0017] ] [0018] (式中、Rmaxはキャビテーション気泡の最大半径であり、ρは液体の密度であり、pは周囲圧力であり、pvは蒸気圧である)から計算することができる。 例えば、Raleigh式に従い、最大半径10μmを有する気泡の崩壊時間は、0.9μ秒以下であり、比例的にRmaxまで減少する。] [0019] 気泡のキャビテーションは、微小粒子の捕獲および操作に用い得る、液体の微小循環を起こす。Y.Jiangら(Y.Jiang,Y.Matsumoto,Y.Hosokawaら、「フェムト秒のレーザー誘導機械力を有する、溶液中の単一の微小物体の捕獲および操作」Appl.Phys.Lett.,90,p.061107,2007)は、衝撃波、キャビテーション気泡および噴流に基づく、捕獲すべき微小粒子の周囲にフェムト秒レーザーパルスをスキャンすることによる、微小物体の捕獲および操作方法を開示している。しかし、この方法は、液体中の気泡の捕獲を可能にしない。] [0020] 米国特許第4,893,886号 米国特許第5,512,745号 米国特許第5,689,109号 米国特許第5,953,166号 米国特許第6,943,062B2号 米国特許第5,445,011号 米国特許第7,315,374号 米国特許第7,316,982号] 先行技術 [0021] A.Ashkinの論文「放射圧による粒子の加速および予測」,Phys.Rev.Lett.24(4),156−159(1970) B.L.Lu,Y.Q.Li,H.Ni,Y.Z.Wang「微小気泡のためのレーザー誘導ハイブリッドトラップ」,Appl.Phys.B71,801−805,2000 Y.Jiang,Y.Matsumoto,Y.Hosokawaら「フェムト秒のレーザー誘導機械力を有する、溶液中の単一の微小物体の捕獲および操作」Appl.Phys.Lett.,90,p.061107,2007 Jing Yong Ye,Guoqing Chang,Theodore B.Norrisら「自己焦点レーザービームを用いた、キャビテーション気泡の捕獲」,Optics Letters,29,No.18,p.2136−2138,2004] 発明が解決しようとする課題 [0022] 水中のレーザー誘導キャビテーション気泡を捕獲する方法が開示されている((Jing Yong Ye,Guoqing Chang,Theodore B.Norrisら「自己焦点レーザービームを用いた、キャビテーション気泡の捕獲」,Optics Letters,29,No.18,p.2136−2138,2004)。自家製の250kHzの再生的に増幅するTi:サファイヤレーザーを、100fsの幅および793nmの波長を有する出力パルスと一緒に用いた。レーザービームの焦点を、(約0.3の開口数に相当する、15のf値を有するレンズにより)分光光度グレードの精製水を含む石英キュベットの上部に軽く合わせた。この焦点調節条件下で、210mWを超える平均レーザー出力のための、レーザービームの自己焦点調節と関連する、白色光連続体および気泡発生が観察された。同時に、気泡の捕獲が観察された。レーザービームの下方には気泡が捕獲されないことが説明されるべきである。しかし、自己焦点レーザービームを用いて、液体中の所定の位置に気泡を局在化させるための安定なトラップを作成するためにこの方法を用いることは不可能であるが、これは自己焦点調節工程の非制御性による可能性がある。捕獲された気泡のサイズは調節不可能であり、変えることはできない。210mWを超える、高い平均レーザー出力の使用および白色光の発生は、周囲の物体の損傷を引き起こし、多くの用途、例えば、医学および生物学における用途を顕著に制限する。] 課題を解決するための手段 [0023] 従って、本発明の実施態様によれば、液体中の微小気泡の形成、捕獲および操作方法が提供される。この方法は、パルスレーザー照射を発生するパルスレーザー源および焦点調節レンズを提供し;焦点域における液体中のオプティカルブレイクダウンの閾値を超えるエネルギーで、液体中の焦点域にパルスレーザー照射の焦点を合わせることを含む。] [0024] さらに、本発明のいくつかの実施態様によれば、パルスレーザーの焦点を合わせる工程は、乾燥した焦点調節レンズを用いて、液体中の位置にパルスレーザーの焦点を合わせることを含み、液体中の焦点位置の深さが、球面収差についての対物レンズの補償深度の周辺にある。] [0025] さらに、本発明のいくつかの実施態様によれば、焦点調節レンズは、0.3〜1.65の開口数を有する。] [0026] さらに、本発明のいくつかの実施態様によれば、パルスレーザーの焦点を合わせる工程は、浸漬焦点調節レンズを用いて、パルスレーザーの焦点を合わせることを含む。] [0027] さらに、本発明のいくつかの実施態様によれば、リモート位置に、レーザービームを誘導するための導波路を提供することを含む。] [0028] さらに、本発明のいくつかの実施態様によれば、パルスレーザー源は、10fs〜10psの範囲の幅および350nm〜1500nmの範囲の波長のレーザーパルスを発生させるために適合されたレーザー源を含む。] [0029] さらに、本発明のいくつかの実施態様によれば、パルスレーザー源は、10kHz〜100MHzの繰り返し率のパルスを発生させるレーザー源を含む。] [0030] さらに、本発明のいくつかの実施態様によれば、方法は液体中の焦点域を移動させることを含む。] [0031] さらに、本発明のいくつかの実施態様によれば、液体中の焦点域を移動させる工程は: 液体が収納され、容器を再配置するためのシステムを再配置する容器を提供し、 パルスレーザービームに対して容器を再配置することを含む。] [0032] さらに、本発明のいくつかの実施態様によれば、液体中の焦点域を移動させる工程は、焦点調節レンズに対するパルスレーザービームの入射角を変化させることを含む。] [0033] さらに、本発明のいくつかの実施態様によれば、本発明の方法は、液体中の焦点域の移動を制御する制御装置を用いることを含む。] [0034] さらに、本発明のいくつかの実施態様によれば、本発明の方法は、パルスレーザービームのエネルギーを調節することを含む。] 図面の簡単な説明 [0035] 本発明をさらに理解し、実際の適用を理解するために、以下の図面を提供し、以下に言及する。図面は実施例としてのみ提供され、本発明の範囲を限定するものではないことに注意すべきである。同様の構成要素は同様の参照数字により示される。 図1は、本発明の一実施態様による、液体中の気泡の形成、捕獲および操作のための配置を示す。 図2は、球面収差についての種々の補償深度を有する3種の物体についてプロットするために存在する、微小気泡捕獲の深度−パルスエネルギーの略図である。 図3は、焦点を合わせるリモート位置に、レーザービームを誘導するためのガイドワイヤを用いる、本発明の他の実施態様による、液体中の気泡の形成、捕獲および操作のための配置を示す。] 図1 図2 図3 [0036] 本発明の一実施態様によれば、液体中に高い繰り返し率の超高速レーザーパルスの焦点を当てることにより、気泡を形成し、捕獲し、サイズを調節する方法が、調節可能なサイズの微小気泡を形成する。気泡はレーザービームの焦点位置中に捕獲され、液体容量中、焦点位置を移動させることにより操作し得る。] [0037] 本発明の他の実施態様によれば、例えば他のレーザーパルス(必ずしも超短波パルスレーザーでない)、放電または超音波発生装置のような外部電源により発生するレーザービームの焦点を気泡内部に合わせることにより、気泡を液体中に捕獲することが可能である。] [0038] 本発明のさらに他の実施態様によれば、レーザービームを向けるための光学導波路と結合した焦点調節レンズを用いても良い。] [0039] 本発明の実施態様による安定な捕獲された気泡の発生は、所定のパラメータの窓、例えば10fs〜10psの範囲のパルス幅、350nm〜1500nmの範囲の波長、1nJ〜10μJの範囲のパルスエネルギー、10kHz〜100mHzの範囲のパルス繰り返し率、0.3〜1.65の範囲の焦点調節対物レンズの開口数(NA)を有するレーザーパルスにおいて可能であることが主張される。安定な捕獲形成のために、好ましくは、球面収差についての対物レンズの補償深度に近い深度で、乾燥した対物レンズの焦点を液体内に配置すべきである。透明な材料の断片を通過する液体中の焦点レーザービームの場合(乾燥した焦点調節レンズ)には、透明な材料および液体中の全てのビームの通過は、液体中の焦点深度が球面収差についての対物レンズの補償深度の付近の深度の範囲にあるようにすべきであり、その範囲はレーザーパルスのパルスエネルギーおよび繰り返し率に依存する。] [0040] 浸漬対物レンズを用い、液体中の任意の焦点深度において安定な捕獲が形成され得る。] [0041] 捕獲された気泡の直径はレーザーパルスのエネルギーに依存し、従って、レーザーパルスのエネルギーを変えることにより気泡のサイズを調節することが可能であることが証明された。微小気泡、並びに気泡と結合した低指数および不透明な粒子の3D操作を容易にできるように、捕獲された微小気泡は、レーザービームの焦点を移動させることによって液体体積内を移動することができる。形成された微小気泡は、周囲の液体よりも高温を有すると思われ、従って、液体中で調節可能な熱蒸着マイクロ源(heat deposition micro source)として用いることができる。] [0042] 本発明の実施態様によれば、液体中の調節可能なサイズの微小気泡の形成、捕獲および操作が可能である。] [0043] 図1は、本発明の実施態様による、微小気泡の形成、捕獲および操作のための装置を示す。] 図1 [0044] パルスレーザー源(1)が、可変減衰器(2)を通過し得るパルスレーザービームを発生する。次いで、例えば、微小気泡を誘発するための容器(4)内の透明な液体中の対物レンズ(3)のような焦点調節レンズを用いてビームの焦点を合わせる。焦点ビームと液体を含む容器との間の相対運動を得るために、再配置システム(5、例えば、X−Y−Z移動ステージ)が供給される。これは、誘発された微小気泡の操作を可能にする。また、レーザービームの焦点は他の手段(例えば、光学的手段、例えばスキャナー、または機械的手段、例えば電動マニピュレーター)によって移動してもよい。] [0045] 例えば、コンピュータ(6)のような制御装置は、例えば、再配置システム(5)を調節および作動することにより、ビームの焦点の操作を調節する。] [0046] レーザービームの方向に平行および垂直に2つの視覚システムが使用される。各視覚システムは、照明光源(7、8)、焦点調節レンズ(3、9)、並びにCCDカメラ(10、11)のような画像センサーを含む。] [0047] 焦点から反射するビームを分割する二色性鏡(12)を用いてブレイクダウンレーザー照射が開始すると、レーザービームに沿った観察は、好ましくは同じ対物レンズを通して実施される。] [0048] 捕獲された気泡の高い繰り返し率を得るために、特定の液体のためのオプティカルブレイクダウンの閾値を超えるパルスエネルギーを用い、超高速レーザーパルスの焦点を液体容量内部に合わせる。パルス幅、焦点調節対物レンズのNA、球面収差についての対物レンズの補償深度、および液体中の焦点の深度のような実験パラメータの停止は、前述のパラメータウィンドウの範囲内である。] [0049] レーザーパルスによる液体のブレイクダウンの結果として、気泡のパルスキャビテーションが発生する。キャビテーションが完了した後、残りの泡は、キャビテーションによって生じる液体の流れによって焦点容量から移動する。パルスからパルスへのキャビテーションの無秩序な方向性のため、残りの泡は次のレーザーパルスが到達する時に焦点容量内にあると思われ、対物レンズの焦点容量中のレーザー照射の非線形吸収のための加熱によって発生する泡中のガス膨張のため、成長し始める。この局所加熱源は液体中の泡の位置を安定化し、圧力、熱線の伝播、およびそれらの泡表面との相互作用は、次のレーザーパルスが、泡の直径をさらに増大させる泡の容量中に更なるエネルギーを加えることを可能にする。最終的に、熱伝導率による気泡の外の熱流が非線形吸収による気泡内の熱流と等しくなると、泡のサイズは増大を停止する。] [0050] 従って、捕獲のメカニズムは、気泡壁を伴うレーザー照射の非線形吸収のため、気泡内部の気体の局所加熱により発生する圧力および熱線の相互作用を含む。] [0051] 本発明の発明者らは、結果が以下の実施例に与えられる実験を実施した。] [0052] 200fsの幅および800nmのレーザーパルス(1、図1)を、可変減衰器(2)に直接通過させ、開口数0.55を有する乾燥した対物レンズ(3)により蒸留水に焦点を合わせた。水(4b)を含むキュベット(4)を、コンピュータ(6)により制御された三軸オープンフレーム位置決めシステム(5)を用いて対物レンズの焦点(4a)に対して移動させた。セットアップは、レーザービームの方向に平行および垂直に機能する2つの視覚システムを有する。各可視システムは、照明源(7、8)、対物レンズ(3、9)およびCCDカメラ(10、11)を有する。二色性鏡(12)を用いたブレイクダウンレーザー照射を開始すると、同じ対物レンズ(NA=0.55、補償深度6.3mm)を通して、レーザービームに沿った観察を実施した。レーザービームに対して垂直な可視システムにおいて、NA=0.3の対物レンズ(9)を用いた。] 図1 [0053] 前述したように、通常、高い繰り返し率による水中でのブレイクダウンの開始に続き、一連のレーザーパルスにより生成するキャビテーション気泡により生成する累積するマイクロジェットの無秩序な方向と関連する、種々の角度および速度でのブレイクダウン域から残りの気泡が放出する。従って、通常は、高い繰り返し率による水中でのレーザーブレイクダウンは、不安定なキャビテーション気泡の形成、およびブレイクダウン域からの残りの気泡の不規則な放出を必要とする。] [0054] 蒸留水の容量で、50×0.55NAの対物レンズにより、250nJのパルスエネルギー(我々の条件におけるオプティカルブレイクダウンの閾値は90nJであった)を用い、100kHzの繰り返し率で200fsのレーザーパルスの焦点を合わせることにより、対物レンズの焦点域が、水中で5.9〜6.7mm(これは、球面収差(6.3mm)についての対物レンズの補償深度に近い)の範囲内の深度に配置される場合に、気泡を得、それを対物レンズの焦点域内に捕獲することが可能であることがわかった。捕獲された気泡は、非常に長く、実際には無限の時間、安定な位置に捕獲されたままであり得る。パルスエネルギーは水中でブレイクダウンの閾値を超えるが、気泡が捕獲されている間、ブレイクダウンが観察されないことに注意すべきである。捕獲した気泡は、焦点対物レンズ上のレーザービームの入射角を変えるか、または水の容器に対してビーム軸に平行および横方向に焦点を移動させることにより、水中で移動させることができる。] [0055] 水中で浸水させた0.75NAの対物レンズの近くで、150nJのパルスエネルギーおよび100kHzの繰り返し率のTi−サファイヤレーザーのレーザーパルス200fsの焦点を合わせた。このケースにおいては、水中の対物レンズの焦点の任意の深度で安定な捕獲された気泡が得られた。捕獲した気泡は、焦点対物レンズ上のレーザービームの入射角を変えるか、または水の容器に対してビーム軸に平行および横方向に焦点を移動させることにより、水中で移動させることができる。] [0056] 水中、浸水させた0.75NAの対物レンズの近くで、100nJのパルスエネルギーおよび5MHzの繰り返し率のTi−サファイヤオシレータのレーザーパルス50fsの焦点を合わせた。このケースにおいては、水中の対物レンズの焦点の任意の深度で安定な捕獲された気泡が得られた。捕獲した気泡は、焦点対物レンズ上のレーザービームの入射角を変えるか、または水の容器に対してビーム軸に平行および横方向に焦点を移動させることにより、水中で移動させることができる。] [0057] 実験は、捕獲した気泡の直径は連続したレーザーパルス(10μs)間の時間間隔で実際に変化しない、すなわち、キャビテーション振動を受けないことを示した。] [0058] ある最適な深度における水中で対物レンズの焦点が移動し、それに対し、用いられる対物レンズの球面収差が最小である場合にのみ気泡捕獲モードが起こることが実験的にわかった。このことは、深度における捕獲の存在領域の略図を示し、レーザーパルスエネルギーが、異なる球面収差補償深度を有する3種の対物レンズについて適合することを示す、図2に示される。最初の対物レンズ(21で示される領域)(50X、NA0.5)は0.17mm厚みのプローブガラスについての球面収差を補正し、第二の対物レンズ(22で示される領域)(50X、NA0.6)についてはガラス中の球面収差についての補償深度は1.5mmであり、第三の対物レンズ(23で示される領域)(50X、NA0.55)については6.3mmであった。図2からわかるように、焦点域が全ての対物レンズのための最適な深度から離れて移動すると気泡捕獲のために必要なパルスエネルギーは著しく増大し、これは、トラップ形成のための密接な収差のないビーム焦点調節の重要性を示す。図2は、焦点の小さい深度における第一の対物レンズについて、トラップが存在する領域が制限されることをも示す。レーザービーム焦点域が水−空気の境界に接近する時に、それは気泡捕獲の方法、および液泡噴流形成の方法に対する捕獲からの突然の変換と関連づけられる。両方の方法は、NA0.5を有する対物レンズを使用して実現する。気泡捕獲様式から液泡噴流形成への切り替えは、ブレイクダウンのないレジメからレーザーパルス毎にブレイクダウンのあるレジメへの変換と同時に起こる。気泡捕獲および捕獲様式においてこのような発光がないと、液胞噴流の場合に、ブレイクダウンプラズマ発光が観察された。] 図2 [0059] 焦点調節対物レンズ上のビームの入射角を変化させることにより、または入射するビームの方向に対して平行および垂直の両方で、対物レンズの焦点と水を含むキュベットとの間の相対的な移動を確保することにより、水中で捕獲された気泡の移動が可能である。捕獲された気泡の壁に対する、直径3〜10μmの微粒子の付着も観察され、それらはさらに一緒に移動し、水中で微小対物レンズを操作する可能性を開く。] [0060] 次いで、捕獲された気泡の温度が室温より高いことが示された。従って、捕獲された気泡が安定な気泡に接近し、プローブガラスの表面上の水に固定されると、周囲の水の熱のため、固定された気泡の膨張が観察された。従って、捕獲された気泡は、局所的な容積内の水の加熱のための熱源として用いることができる。] [0061] 捕獲力値は、2種の方法で評価した。パルスエネルギーに依存する、捕獲された気泡の直径を調べ、実験条件下で安定な捕獲された気泡の最大直径は35μmに達することがわかった。更なるエネルギー増大および対応する気泡の直径の成長により、気泡は分離し、浮力の方向に対物レンズの焦点域が残った。] [0062] 分離の時に(水中の対流は無視する)、捕獲力Ftrは浮力: Ftr=ρ・g・V (式中、ρは水の密度であり、Vは気泡の容積であり、gは重力係数である)と等しくなる。17.5μmの半径の気泡について、捕獲力は220pNと等しく計算される。] [0063] 一方、捕獲力は、捕獲された気泡が、レーザービームに対して垂直な面において移動する実験において測定された。水を含むキュベットを、可変速度で対物レンズの焦点に対して移動させた。分離した気泡が特定の速度に達すると、捕獲力Ftrは水中の粘性抵抗力に等しくなり、ストークスの式: Ftr=6π・η・Rb・ν (式中、ηは水の粘度であり、Rbは気泡の半径であり、νは気泡の速度である)に従って計算することができる。通常の蒸留水中、20mWの平均レーザー出力で、20μmの直径を有する捕獲された気泡の最大速度は1.2mm/秒に達し、これは200pNの捕獲力に相当し、推測した垂直捕獲力と完全に一致する。実験が20mWの平均レーザー出力で実施されるので、特定値の捕獲力は、従来の光ピンセットについての換算値を2桁超えた、10pN/mWに等しいことに注意すべきである。] [0064] 提案された気泡捕獲は、水中で微小物体を捕獲および操作するために用いることができ、マイクロテクノロジーにおける水および微小物体の局所的な熱源としても用いることができる。] [0065] 図3は、レーザービームを、焦点を合わせるリモート位置に導くガイドワイヤを用いる、本発明の他の実施態様による、液体中の気泡の形成、捕獲および操作のための配置を示す。] 図3 [0066] 本発明のいくつかの実施態様による方法は、リモート位置で、液体中の気泡の形成、捕獲および操作において用いることができる。この目的のために、導波路、例えば光ファイバー(31)を用いて、レーザービームを、指定されたリモートターゲット位置に向ける。焦点調節対物レンズ(例えば、レンズ32)は、光ファイバーの遠位末端に備え付けられ、リモート位置の液体中の所望の目的とする焦点に新たに生起するレーザービームの焦点調節を促進する。この技術は、身体の内腔または空洞、例えば、血管、膀胱または他の体器官内で気泡を形成、捕獲および操作するために用いることができる。照明導波路(33)は、照明を焦点域に向かわせるために用いられ、調査は、導波路(31)に平行に実施する。] [0067] 実施態様の記載および明細書に示す添付図面は、本発明の範囲を限定することなく、本発明の更なる理解のためにのみ提示されることが明らかであろう。] 実施例 [0068] また、本明細書を読んだ後の当業者は、今もなお本発明によりカバーされる、添付図面および前記実施態様に対する調整および修正をなし得ることが明らかであろう。]
权利要求:
請求項1 パルスレーザー照射を発生するパルスレーザー源および焦点調節レンズを提供し、焦点域における液体中のオプティカルブレイクダウンの閾値を超えるエネルギーで、液体中の焦点域にパルスレーザー照射の焦点を合わせることを含む、液体中の微小気泡の形成、捕獲および操作方法。 請求項2 パルスレーザーの焦点を合わせる工程が、乾燥した焦点調節レンズを用いて、液体中の位置にパルスレーザーの焦点を合わせることを含み、液体中の焦点位置の深さが、球面収差についての対物レンズの補償深度の周辺にある、請求項1記載の方法。 請求項3 焦点調節レンズが、0.3〜1.65の開口数を有する請求項2記載の方法。 請求項4 パルスレーザーの焦点を合わせる工程が、浸漬焦点調節レンズを用いて、パルスレーザーの焦点を合わせることを含む、請求項1記載の方法。 請求項5 リモート位置に、レーザービームを誘導するための導波路を提供することを含む、請求項1記載の方法。 請求項6 パルスレーザー源が、10fs〜10psの幅および350nm〜1500nmの波長のレーザーパルスを発生させるために適合されたレーザー源を含む、請求項1記載の方法。 請求項7 パルスレーザー源が、10kHz〜100MHzの繰り返し率のパルスを発生させるレーザー源を含む、請求項1記載の方法。 請求項8 液体中の焦点域を移動させることを含む、請求項1記載の方法。 請求項9 液体中の焦点域を移動させる工程が:液体が収納され、容器を再配置するためのシステムを再配置する容器を提供し、パルスレーザービームに対して容器を再配置することを含む、請求項8記載の方法。 請求項10 液体中の焦点域を移動させる工程が、焦点調節レンズに対してパルスレーザービームの入射角を変化させることを含む、請求項8記載の方法。 請求項11 液体中の焦点域の移動を制御する制御装置を用いることを含む、請求項8記載の方法。 請求項12 パルスレーザービームのエネルギーを調節することを含む、請求項1記載の方法。
类似技术:
公开号 | 公开日 | 专利标题 Ionin et al.2013|Thermal melting and ablation of silicon by femtosecond laser radiation Venugopalan et al.2002|Role of laser-induced plasma formation in pulsed cellular microsurgery and micromanipulation Cheng et al.2003|Three-dimensional micro-optical components embedded in photosensitive glass by a femtosecond laser Maruo et al.1998|Two-photon-absorbed near-infrared photopolymerization for three-dimensional microfabrication Liang et al.1993|Micromanipulation of chromosomes in PTK2 cells using laser microsurgery | in combination with laser-induced optical force | EP3127502B1|2019-03-20|Cleaning system Eaton et al.2005|Heat accumulation effects in femtosecond laser-written waveguides with variable repetition rate Li et al.2014|Dynamic keyhole profile during high-power deep-penetration laser welding Hajireza et al.2011|Label-free in vivo fiber-based optical-resolution photoacoustic microscopy US7072377B2|2006-07-04|Method for calculating and displaying the isothermal contours produced by a laser JP4804911B2|2011-11-02|レーザ加工装置 Kruusing2004|Underwater and water-assisted laser processing: Part 2—Etching, cutting and rarely used methods Heisterkamp et al.2002|Nonlinear side effects of fs pulses inside corneal tissue during photodisruption Vogel et al.1996|Plasma formation in water by picosecond and nanosecond Nd: YAG laser pulses. I. Optical breakdown at threshold and superthreshold irradiance JP5244281B2|2013-07-24|材料を操作するために光ピンセットを使用する装置 Oraevsky et al.1995|Mechanism of laser ablation for aqueous media irradiated under confined‐stress conditions Brown et al.2010|Fundamentals of laser-material interaction and application to multiscale surface modification Herman et al.1999|Laser micromachining of transparent fused silica with 1-ps pulses and pulse trains EP0307940B1|1994-12-07|Non-destructive optical trap for biological particles and method of doing same Mills et al.2002|Embedded anisotropic microreflectors by femtosecond-laser nanomachining US20150372445A1|2015-12-24|Femtosecond laser processing system with process parameters controls and feedback JP4838716B2|2011-12-14|Device for shortening hairs by laser-induced photodestructive effect Schaffer et al.2002|Dynamics of femtosecond laser-induced breakdown in water from femtoseconds to microseconds JP4784930B2|2011-10-05|高分子結晶の加工方法、高分子結晶の加工装置、及び高分子結晶の観察装置 Vogel et al.2007|Mechanisms of laser-induced dissection and transport of histologic specimens
同族专利:
公开号 | 公开日 CN102066903B|2013-05-22| CN102066903A|2011-05-18| WO2009122417A3|2010-03-18| US20110036991A1|2011-02-17| WO2009122417A2|2009-10-08| EP2265927A2|2010-12-29| EP2265927A4|2014-02-26|
引用文献:
公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题 JP2003106950A|2001-09-27|2003-04-09|National Institute Of Advanced Industrial & Technology|微小液滴又は微小気泡の注入方法| JP2004066220A|2002-07-31|2004-03-04|Data Strage Inst|表面洗浄方法および装置|CN106271063A|2016-08-30|2017-01-04|江苏大学|一种激光诱导双空泡的方法及装置| WO2019159422A1|2018-02-14|2019-08-22|三菱重工業株式会社|水中音響欺瞞システムおよび水中音響欺瞞方法|US3810131A|1972-07-18|1974-05-07|Bell Telephone Labor Inc|Devices employing the interaction of laser light with magnetic domains| US6418177B1|1984-08-09|2002-07-09|John E Stauffer|Fuel pellets for thermonuclear reactions| US4627726A|1985-06-17|1986-12-09|The Johns Hopkins University|Method and apparatus using laser radiation for generating and measuring gas bubbles| US4893886A|1987-09-17|1990-01-16|American Telephone And Telegraph Company|Non-destructive optical trap for biological particles and method of doing same| US6216538B1|1992-12-02|2001-04-17|Hitachi, Ltd.|Particle handling apparatus for handling particles in fluid by acoustic radiation pressure| DE4300698A1|1993-01-13|1994-07-14|Raimund Schuetze|Vorrichtung und Verfahren zur Handhabung, Bearbeitung und Beobachtung kleiner Teilchen, insbesondere biologischer Teilchen| US5445011A|1993-09-21|1995-08-29|Ghislain; Lucien P.|Scanning force microscope using an optical trap| US5512745A|1994-03-09|1996-04-30|Board Of Trustees Of The Leland Stanford Jr. University|Optical trap system and method| US5953166A|1995-03-22|1999-09-14|Moritex Corporation|Laser trapping apparatus| US6538739B1|1997-09-30|2003-03-25|The Regents Of The University Of California|Bubble diagnostics| US6546272B1|1999-06-24|2003-04-08|Mackinnon Nicholas B.|Apparatus for in vivo imaging of the respiratory tract and other internal organs| WO2003008943A1|2001-07-19|2003-01-30|Tufts University|Optical array device and methods of use thereof for screening, analysis and manipulation of particles| US6960307B2|2002-01-18|2005-11-01|Leclair Mark L|Method and apparatus for the controlled formation of cavitation bubbles| US6869479B2|2002-03-29|2005-03-22|Altair Center, Llc|Method of laser-assisted fabrication of optoelectronic and photonic components| US7549985B2|2002-06-26|2009-06-23|The Regents Of The University Of Michigan|Method and system to create and acoustically manipulate a microbubble| US7367948B2|2002-08-29|2008-05-06|The Regents Of The University Of Michigan|Acoustic monitoring method and system in laser-induced optical breakdown | US7118676B2|2003-09-04|2006-10-10|Arryx, Inc.|Multiple laminar flow-based particle and cellular separation with laser steering| US7813406B1|2003-10-15|2010-10-12|The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration|Temporal laser pulse manipulation using multiple optical ring-cavities| US6943062B2|2003-10-20|2005-09-13|Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd.|Contaminant particle removal by optical tweezers| US7449679B2|2003-10-28|2008-11-11|Arryx, Inc.|System and method for manipulating and processing materials using holographic optical trapping| US7316982B2|2003-12-24|2008-01-08|Intel Corporation|Controlling carbon nanotubes using optical traps| US7315374B2|2004-06-24|2008-01-01|Intel Corporation|Real-time monitoring optically trapped carbon nanotubes| WO2006058187A2|2004-11-23|2006-06-01|Robert Eric Betzig|Optical lattice microscopy| GB0518273D0|2005-09-08|2005-10-19|Univ Dundee|Apparatus and method for sonoporation| WO2007072258A2|2005-12-21|2007-06-28|Koninklijke Philips Electronics N.V.|Fluid focus lens to isolate or trap small particulate matter| US7764433B2|2006-05-18|2010-07-27|The Regents Of The University Of California|Method and system for correcting optical aberrations, including widefield imaging applications|WO2008149352A2|2007-06-04|2008-12-11|Pixer Technology Ltd.|Apparatus and method for inducing controllable jets in liquids| US20130104981A1|2011-10-27|2013-05-02|University Of Delaware|Systems and methods for optical tracking| CN103030092B|2013-01-10|2015-05-27|浙江大学|基于相变作用力的金属微驱动器、驱动装置及其驱动方法| US9415468B2|2013-08-20|2016-08-16|General Electric Company|Method for manufacturing an airfoil| CN103712723B|2013-12-19|2016-04-06|江苏大学|激光空化射流力冲击作用的检测方法及装置| US9662743B2|2014-01-27|2017-05-30|General Electric Company|Method for drilling a hole in an airfoil| US9468991B2|2014-01-27|2016-10-18|General Electric Company|Method determining hole completion| CN105445227B|2014-08-29|2019-04-02|清华大学|一种观测一维纳米材料的方法及装置| CN104759753B|2015-03-30|2016-08-31|江苏大学|多系统自动化协调工作提高激光诱导空化强化的方法| CN106017814B|2016-07-11|2018-06-29|中国科学院沈阳自动化研究所|微重力环境下的水路循环系统气泡收集与测量装置| CN107300540B|2017-05-19|2020-02-07|西安交通大学|一种液体光致击穿及空化效应的研究系统|
法律状态:
2012-02-22| A621| Written request for application examination|Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120221 | 2013-02-16| A521| Written amendment|Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130215 | 2013-09-20| A977| Report on retrieval|Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130920 | 2013-10-01| A131| Notification of reasons for refusal|Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131001 | 2013-12-26| A601| Written request for extension of time|Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20131225 | 2014-01-14| A602| Written permission of extension of time|Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20140110 | 2014-02-01| A601| Written request for extension of time|Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20140131 | 2014-02-10| A602| Written permission of extension of time|Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20140207 | 2014-02-28| A521| Written amendment|Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140227 | 2014-04-08| A01| Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)|Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140408 | 2014-08-26| A045| Written measure of dismissal of application [lapsed due to lack of payment]|Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A045 Effective date: 20140826 |
优先权:
[返回顶部]
申请号 | 申请日 | 专利标题 相关专利
Sulfonates, polymers, resist compositions and patterning process
Washing machine
Washing machine
Device for fixture finishing and tension adjusting of membrane
Structure for Equipping Band in a Plane Cathode Ray Tube
Process for preparation of 7 alpha-carboxyl 9, 11-epoxy steroids and intermediates useful therein an
国家/地区
|